Lam Parts & For Sale

Top RF Assembly Match Manual Module
(ASSEMBLY, MANUAL CONTROL BOX)

說明：853-015982-001

CABLE ASSY

說明：853-370726-001

AUTO TUNE BOARD

說明： 810-015987-001
810-015987-101

VAT Pressure controller PM5 VAT壓力控制器

說明：641PM-16PL-0002/838

Adaptive Pressure Controller, PM7, VAT壓力控制器

說明： 650PM-26PM-AAK1/0809 (VAT P/N:102419-R1)
(Software:65PM.3E.21)

LAM RESEARCH CORPORATION ALL RIGHTS RESERVED

說明：810-17030-005

LAM PCB Lam Research Motherboard

說明： 810-017001-001

Lam Research Gas Box Interlock PCB

說明：810-017075-003

Lam Research Orbital Gas Box Motherboard

說明： 810-017058-002

RF GEN.CART BREAKOUT BD

說明：810-17025-3

DIP BOARD

說明： 810-17003-001

6DFP-2Upper Electrode

說明： 716-011564-001

715-11002-002 LAM4420 Housing Lower Reaction Chamber

說明： 715-11002-002

853-015686-004 ASSY Esc Htr Fltrs Channel Sng

說明： 853-015686-004

853-017633-010 Sensor, Optical

說明： 853-017633-010

853-190023-001 HD Driver Controller

說明： 853-190023-001 SMS Technologies Board

853-550032-001 Aligner Light Source

說明： 853-550032-001

9400 Elctd Cap Notched LT 8″ (下電極)

說明：718-094523-281

Switch, Vacuum, 1/4 VCR

說明： 768-090914-001 SV129-31W2A-X/6530

Wldmt Loadlock Interconn Man

說明： 839-013515-001

ESC (E-chuck)
Aliance 9400 ASSY, ELCTD, ESC 6″ MJR FLT LT

說明： 718-094523-261

Assy, Lifter Bellows Seal

Item:Assy,Lifter Bellows Seal P/N:853-031764-002 Quote:2

Baffle, Lower

說明： 715-011913-080-B

Cable STPR MTR ARM Drive.(塑膠頭)

說明： 853-017933-001

Cap Electrode Flat

說明： 715-011629-006

Cap Electrode Thin Edge

說明： 715-011639-004

Cap, Lower Electrode, 6″ W/Vent Groove (下電極)

說明： 715-011665-006

Filler Ring Ceramic

說明： 716-028123-002

Ceramic Focus Ring

說明： 716-028249-064

Lam Research Quartz Window

說明： 716-011533-001

Inner Gate Assembly

說明： 853-012230-002

Cov Arm Hsg W/ Align Hole

說明： 715-012111-002

Endpoint Detector

說明： 853-540066-005

Gas Ring

說明： 715-330135-001

Gate Door Plate

說明： 715-012233-003

Lam 4520 8″ Upper Elecrtode

說明： 839-011907-001

Lam Aluminum Electrode

說明： 715-011531-015

Lam Ceramic

說明： 716-011543-001

Lam Machine LCD Monitor

說明： We can supply Envision / Classic LCD Monitor Option: Touch Monitor

Lam Quartz Top Disk

說明： 716-331157-014

Lam Research Arm Housing Assy

說明： 853-012100-003

Lam Research Chamber Cover Plate

說明： 715-032012-004

Lam Research Lower Baffle plate &, Upper Baffle

說明：715-011913-083

716-011009-001 Window Endpoint Quartz Heated

說明： 716-011009-001

ASSY,CA,LWR MTCH VCI 161

說明：853-017410-002 & 853-017410-003

RF Lower Match Network Cable

說明： 853-017807-001

Kitz SCT Pneumatic TD4CS-GC-1671-FA-SEP-316LE Diaphragm Valve 2-Port

說明：TD4CS-GC-1671-FA

Nut, Retainer

說明： 713-011575-001

Pressure Switch

說明： 768-094193-910
P36W-68

Plate Top Ceramic

說明： 716-330122-002

Plate, Seal

說明： 716-011603-001

Plate,Lower Baffle, 6

說明： 715-028627-001

Plate,Upper Baffle, 6

說明： 715-028626-001

Ring Filler Upper Alomina

說明： 716-011057-002

Ring Focus Thin Edge,4

說明： 716-011638-004

Robot Lam Research

說明： 715-012101-006

Rui For Classic System

說明：Classic Remote Controller

Vacuum Switch 5 Torr

說明： 768-091910-001

Wasco Pressure Switch

說明： 853-17631-002

715-330984-001 Lam Research Bottom Gas Ring

說明： 715-330984-001 Ring Bottom Gas Injection ESC Lam Research

Weldment Gas Feed Line

說明： 839-014757-067

Filter Board Pcb

說明： 810-330490-001

Auto loader Board(Lam)

說明： MODEL:418-101

Interlock Board

說明： 810-017042-002

Solenoid Interlock Board

說明： 810-17004-001

Lam PC Board Assy,
Memory Board

說明： 810-004115-002

ESC Power Supply

說明： 810-17086-002

DIP Board

說明： 810-15932-002
810-015932-002

CPU Board

說明： 810-017034-300
880-12537-101

Wafer holder tight pocket

說明： 853-012176-006

DIP Board

說明：810-017003-005
810-017003-004

Ring Confinment Ring

說明： 713-028487-001

ASSY, CABLE, STPR MTR, ENTRANCE LDLK NEW (金屬頭)

說明: 853-190260-001

Lead Screw Driver Sub Assembly

說明： 854-011153-001

Lead Screw Driven Sub Assembly

說明: 854-011153-002

Trazar Match
(120 VAC, 50/60HZ)

說明： 914-92003-00

SINGLE DRIVE INDOOR ASSY GM9413C292)
(PITTMAN)

說明：853-004094-001-D-C139
676-01677-001

SWITCH ,VACUUM, 5 TORR GAUGE PV48W-15

說明： 768-091910-001

SWITCH, VACUUM, 1/4 VCR, 31TORR A

說明：768-090455-001

Advanced Energy RFDS-1250
RF Generator

M/N:3155059-026/(660-024637-026)

Network Interface Board

說明： 810-707183-001

CABLE ASSY (ASSY,HTR CRTG,55W)

說明：853-370702-002
853-370702-001

ADIO BOARD

說明： 810-017031-004

ASSY,STUD,SOCKET

說明：839-070842-004

PALL FILTER

說明： 853-274259-001

CAPSULE FILTRATION

說明：775-268072-001

Mykrolis FILTER

說明：RGCZ01PLT

Mykrolis FILTER

說明：IHAZ01P01

055-03-904-0305

說明：055-03-904-0305